一、大会名称

2021中国MEMS制造大会暨微纳制造与传感器展览会

同期举办：第二届中国MEMS创新创业大赛

二、主办、承办单位

指导单位：

中国半导体行业协会 

中国半导体行业协会MEMS分会

主办单位：

中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

苏州纳米科技发展有限公司

承办单位：

MEMSRIGHT

江苏省纳米加工公共服务平台

苏州市集成微系统封装平台

苏州敏芯微电子技术股份有限公司

三、大会简介

在中国半导体行业协会和中国半导体行业协会MEMS分会的共同指导下，苏州纳米科技发展有限公司联合江苏省纳米技术产业创新中心、MEMSRIGHT、中科院纳米所微纳加工平台与集成微系统封装平台、敏芯微电子等国内外MEMS代工厂、平台与机构等，在苏州定期举办China MEMS中国MEMS制造大会，旨在汇聚全球MEMS制造产业资源，打造MEMS领域品牌会议，加强MEMS设计、研发、加工制造、封装测试等全产业链联动关系，促进以MEMS制造为主线的产业资源垂直整合，推动我国MEMS产业领域的人才集聚、技术创新、成果转化，加速突破我国MEMS制造领域发展瓶颈。  

2021年第三届中国MEMS制造大会将在2020基础上推陈出新、力求突破，拟安排为：

（一） 首次设置分论坛、加强会议专业性

MEMS射频器件、红外传感器成为近年来迅速发展的明星产品。为促成这两个重点细分领域前沿技术和市场前景交流、精准促进该领域发展，2021中国MEMS制造大会将首次开设“中国MEMS制造大会射频分会场”、“中国MEMS制造大会显示分会场”。两场分会场拟设置在10月29日9：00-17:30。

射频分会场拟邀单位为： Broadcom、瑞声科技、河北美泰、中电13所、中电55所、汉天下、时代民芯、希美微纳、左蓝微电子等。

显示分会场拟邀单位为：红外传感器厂家烟台睿创、武汉高德红外、浙江大立、上海巨哥，红外传感器代工厂华润上华；微镜厂家：TI、MicroVision、无锡微奥等。

（二）会议氛围再活跃、嘉宾质量再提升、会议规模再扩大

2021中国MEMS制造大会将继续提升大会整体质量，将持续邀请行业一流企业事业单位进行演讲。2019大会邀请SMEC副总裁刘煊杰，2020大会邀请中科院院士郑泉水、华登国际合伙人王林等，均成为大会亮点。2021大会将继续联络中国乃至世界MEMS产业专家前来演讲分享，新增拟邀演讲单位为：台积电、APM、X-FAB、Yole、TI、ST、Broadcom、高德红外、浙江大立、长电科技等。

因新设两个分论坛，2021大会嘉宾数量将突破40人。2021中国MEMS制造大会将继续保持MEMS行业最大规模、最高水平的会议规格。

四、大会主题

（一）MEMS全球市场与产业链布局 

（二）MEMS全球晶圆代工产业格局和发展趋势 

（三）MEMS先进晶圆封装测试市场发展方向 

（四）MEMS在智能终端的应用前景与发展方向 

（五）MEMS射频、显示器件的技术和市场状况 

（六）MEMS激光雷达器件工艺与市场状况 

（七）MEMS 3D显示器件工艺与市场状况 

（八）MEMS红外成像技术与应用 

（九）MEMS新材料技术与工艺

五、往届回顾

China MEMS 2020 中国MEMS制造大会演讲嘉宾35人，嘉宾来自SMEC、Selix、中科院、华润微、Bosch、爱发科、中电55所、赛迪顾问、罕王微电子等行业重点企业，现场参会观众达480多人。 

同期，苏州纳米科技发展有限公司首次举办2020中国MEMS创业大赛，21家入围企业进行了现场路演，现场观众达200多人。

大赛评选出“中国MEMS产业最具投资价值奖”一二三等奖、“中国MEMS产业创新产品奖”一二三等奖，鼓励优秀企业、产品脱颖而出。

六、本届亮点

（一）汇聚全球MEMS制造全产业链 ，silex、SMEC、Bosch、MEMSRIGHT、华润微电子、士兰微、天水华天、苏州晶方、中国电子55所等全球一流MEMS制造企业

（二）“中国MEMS创新创业大赛”第二届举办（突出产品创新、设计创新、理念创新等特点）

（三）新增设MEMS制造分论坛（两场分论坛的增加突显大会紧跟MEMS制造发展方向。欲通过大会增加同行业内交流，描绘下一年走向趋势） 

七、展览范围

MEMS 器件

 光学MEMS；射频MEMS ；MEMS物理传感器 (加速传感器，速率传感器，压力传感器，气体传感器，温度传感器)；微 射流（微流引导，微感应器等）；MEMS执行器；MEMS电能（燃料电池，微发电机等）；高复合型MEMS (CMOS/MEMS, LSI/MEMS 一体化)。

MEMS 代工服务

 仿真设计、原型测试、产品开发、量产；其他代工服务：图案形成、薄膜形成、雷射、离子脉冲加工、喷镀。

MEMS 应用

超微型机械人装置、微型工厂等；传感器网络；能量收集。

MEMS 加工设备

 薄膜成形（汽相淀积、溅射、CVD、覆镀；曝光系统、蚀刻技术；防腐处理；刻蚀；晶圆键合；切割；芯片/导线焊接；封装；微成形 (注射, 热压)；其他生产设备 。

分析与检测仪器

光罩缺陷检测、封装检测、表面分析仪器、粗糙度仪、扫描电子显微镜、薄膜厚度测量系统；显微镜：光学显微镜、电子显微镜、探针显微镜、电子能谱仪；检漏仪器、静电负离子空气净化机；气体分析及检测、分析和测量系统。

纳米机械微制程技术

超精度纳米机械工艺；超精密加工, 微制造；表面微加工；精细钻孔；微观切割；雷射、离子脉冲加工；聚焦离子束系统；微放电加工；超声波设备等。

纳米压印技术

微纳米模型；纳米压印生产设备。

生物技术与医疗应用

MEMS 在医疗处理及诊断方面的应用、DDS、纳米胶囊；尖端DNA & RNA 技术、微反应器、微流引导、生物/化学MEMS（DNA/RNA技术，化学检测）等。